产品特性机械设备 | 品牌纯源镀膜 |
型号PIS系列 | 产品别名纯离子真空镀膜机 |
用途镀膜加工 | 适用行业零部件生产加工商 |
产品用途镀膜加工 | 规格可定制 |
产品特性机械设备 | 品牌纯源镀膜 |
型号PIS系列 | 产品别名纯离子真空镀膜机 |
用途镀膜加工 | 适用行业零部件生产加工商 |
产品用途镀膜加工 | 规格可定制 |
PIS纯离子镀膜机
系列设备主要是(集)纯离子镀膜技术(PIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超级类金刚石膜(TAC、DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统,全自动控制。
主要特点
1、传动装置为水冷式:设计新颖、结构紧凑、系列间通用、互换性强;水冷式机座,散热效果佳;滚动轴承及传动齿轮可加润滑油运行,使用寿命增长3-5倍;
2、旋转装置为行星旋转机构、据镀膜工艺不同,设计为:公转式、公/自转式;
3、采用气动门铰,自动锁门,减少操作程序,增强真空门整体的密闭性及减少对橡胶密封圈的破坏性;
4、真空容器设计为新型结构,用户可据自己的需求,升级为多功能镀膜设备;
5、多弧离子部份采用***镀膜工艺技术,即可镀制装饰膜,也能镀制功能膜,数道工艺,一次完成,极为***科学;
6、智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现全自动控制;
7、报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
技术优势
1、膜层致密、粘附性好;膜层均匀性可调;高稳定性;高功率;
2、均匀性好;优化磁场设计,维护方便;有效水冷设计,靶材可以连续24小时工作;
3、腔体接口通用尺寸,互换性强,优化升级方便;
4、专利磁场设计+专利布气方式,***提高了有效镀膜空间和膜层均匀性;
5、实时记录历史数据和分析数据曲线,对品质管理管控和工艺开发有明显帮助。强大的软件功能,友好的人机界面,实时记录工艺数据,利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等;
6、模块化工艺配方,灵活设定子配方和总配方,子配方添加/删减方便,一键式操作即可完成多层工艺配方。
设备参数
PPIS | |||
炉体尺寸 | 内空间φ1350*H1100(可订制) | 有效空间 | Φ1036*H600 |
工件直径*数量 | 依客户工件尺寸定量 工件高度不超过600MM | 抽气时间 | 大气到6X10-3 <15分钟 |
工作电压/频率 | 380V/50Hz | 实际功率 | 50KW |
应用技术 | PIC+IONBEAM+SPUTTER | 镀膜源类型 | 纯离子镀膜源 非平衡有磁控溅射镀膜源 阳极层离子束清洗源 |
极限压力 | 5.0*10-4Pa | 漏率 | <10-9Pa.L/s |
标准膜层 | TiN、CrN、TiCN、AlTiN等 | 其它复合膜层 | TiAlCrN、TiSiN、TiCrN、DLC等金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层 |
基片转架 | 公转+自转 | 真空室结构 | 立式单开门 |
电源类型 | 多种电源 | 真空系统 | 分子泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵 |
生产周期 | 4-24小时/炉/按工艺设计要求 | 外围尺寸 | L4800*W3550*H2583MM |
产量/炉 | 依客户工件尺寸定量 | 配套条件 | 循环水压力:4KG/CM3 |
水量:10T/H | |||
压缩空气:6-8 KG/CM3 | |||
控制方式 | PLC+触摸屏+组态软件 | 工艺气体 | Ar、N2、O2、C2H2等 |
工业PC+PLC+触摸屏 | |||
自己开发的镀膜专用软件 | |||
适用范围 | 航空及***业;豪华汽车工业;精密光学行业;高精机械加工行业;科研单位等。 | ||
备注 | 真空室尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。 |
企业类型 | 其他有限责任公司 | 统一社会信用代码 | 91340100394452746Q |
---|---|---|---|
成立日期 | 2014-10-23 | 法定代表人/负责人 | 张心凤 |
注册资本 | 842.5505万(元) | 注册地址 | 合肥市高新区大别山路1599号环新集团联合厂房1南侧 |
营业期限 | 2014-10-23 至 2034-10-22 | 登记机关 | 合肥市高新开发区市场监督管理局 |
经营范围 | 一般项目:真空镀膜加工;泵及真空设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);专用设备制造(不含许可类专业设备制造);泵及真空设备销售;电镀加工;电泳加工;金属表面处理及热处理加工;塑胶表面处理;光学仪器制造;功能玻璃和新型光学材料销售;石墨及碳素制品销售;模具制造;机床功能部件及附件制造;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;租赁服务(不含许可类租赁服务);机械设备租赁;机械设备销售;表面功能材料销售;机械零件、零部件加工;技术进出口;货物进出口;进出口代理(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目) |