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镀膜设备-纯离子真空镀膜机-纯源镀膜

使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超级类金刚石膜(TAC、DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。 展开

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产品特性机械设备品牌纯源镀膜
型号PIS系列产品别名纯离子真空镀膜机
用途镀膜加工适用行业零部件生产加工商
产品用途镀膜加工规格可定制
展开

镀膜设备-纯离子真空镀膜机-纯源镀膜

PIS纯离子镀膜机


系列设备主要是(集)纯离子镀膜技术(PIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超级类金刚石膜(TAC、DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统,全自动控制。



主要特点


1、传动装置为水冷式:设计新颖、结构紧凑、系列间通用、互换性强;水冷式机座,散热效果佳;滚动轴承及传动齿轮可加润滑油运行,使用寿命增长3-5倍;

2、旋转装置为行星旋转机构、据镀膜工艺不同,设计为:公转式、公/自转式;

3、采用气动门铰,自动锁门,减少操作程序,增强真空门整体的密闭性及减少对橡胶密封圈的破坏性;

4、真空容器设计为新型结构,用户可据自己的需求,升级为多功能镀膜设备;

5、多弧离子部份采用***镀膜工艺技术,即可镀制装饰膜,也能镀制功能膜,数道工艺,一次完成,极为***科学;

6、智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现全自动控制;

7、报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。




技术优势


1、膜层致密、粘附性好;膜层均匀性可调;高稳定性;高功率;

2、均匀性好;优化磁场设计,维护方便;有效水冷设计,靶材可以连续24小时工作;

3、腔体接口通用尺寸,互换性强,优化升级方便;

4、专利磁场设计+专利布气方式,***提高了有效镀膜空间和膜层均匀性;

5、实时记录历史数据和分析数据曲线,对品质管理管控和工艺开发有明显帮助。强大的软件功能,友好的人机界面,实时记录工艺数据,利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等;

6、模块化工艺配方,灵活设定子配方和总配方,子配方添加/删减方便,一键式操作即可完成多层工艺配方。

设备参数


PPIS

炉体尺寸

内空间φ1350*H1100(可订制)

有效空间

Φ1036*H600

工件直径*数量

依客户工件尺寸定量

工件高度不超过600MM

抽气时间

大气到6X10-3 <15分钟

工作电压/频率

380V/50Hz

实际功率

50KW

应用技术

PIC+IONBEAM+SPUTTER

镀膜源类型

纯离子镀膜源

非平衡有磁控溅射镀膜源

阳极层离子束清洗源

极限压力

5.0*10-4Pa

漏率

<10-9Pa.L/s

标准膜层

TiNCrNTiCNAlTiN

其它复合膜层

TiAlCrNTiSiNTiCrNDLC金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层

基片转架

公转+自转

真空室结构

立式单开门

电源类型

多种电源

真空系统

分子泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵

生产周期

4-24小时//按工艺设计要求

外围尺寸

L4800*W3550*H2583MM

产量/

依客户工件尺寸定量

配套条件

循环水压力:4KG/CM3

水量:10T/H

压缩空气:6-8 KG/CM3


控制方式

PLC+触摸屏+组态软件

工艺气体

ArN2O2C2H2

工业PC+PLC+触摸屏

自己开发的镀膜专用软件

适用范围

航空及***业;豪华汽车工业;精密光学行业;高精机械加工行业;科研单位等。

备注

真空室尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。


供应商信息

安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。 公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的专业型人才。在阴极弧(Cathode Arc)、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beam Evaporation)、离子束刻蚀清洗(IBE)、化学气相沉积(CVD)等领域都掌握了国际***技术;特别是公司自主设计、研发、制造的纯离子镀膜设备(Pure Ion Coating Equipment)能够制备出性能优越的类金刚石膜、金属膜、金属化合物膜等。 镀膜设备有:纯离子镀膜设备系列、高精模具镀膜设备系列、磁控溅射设备系列、反应离子刻蚀系列等。 功能膜层系列有: Ta-C、DLC、氮化物膜(TiN、CrN、AlCrN等)、碳化物膜(CrC、WC等)、高致密金属/合金膜和光学膜层等。 光学膜层系列有:减反膜、滤光膜、高反膜、红外膜等。 公司装备及膜层广泛应用于交通工具、***航天、切削工具、消费电子、纺织机械、医疗、新能源和科研等行业。

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企业类型 其他有限责任公司 统一社会信用代码 91340100394452746Q
成立日期 2014-10-23 法定代表人/负责人 张心凤
注册资本 842.5505万(元) 注册地址 合肥市高新区大别山路1599号环新集团联合厂房1南侧
营业期限 2014-10-23 至 2034-10-22 登记机关 合肥市高新开发区市场监督管理局
经营范围 一般项目:真空镀膜加工;泵及真空设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);专用设备制造(不含许可类专业设备制造);泵及真空设备销售;电镀加工;电泳加工;金属表面处理及热处理加工;塑胶表面处理;光学仪器制造;功能玻璃和新型光学材料销售;石墨及碳素制品销售;模具制造;机床功能部件及附件制造;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;租赁服务(不含许可类租赁服务);机械设备租赁;机械设备销售;表面功能材料销售;机械零件、零部件加工;技术进出口;货物进出口;进出口代理(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)
联系方式
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