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美国泽伊塔ZETA-20

卓越的三维成像和测量基于ZDot?专利技术,Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。

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加工定制:品牌:ZETA型号:ZETA-20
规格:适用范围:光伏

美国泽伊塔ZETA-20

Zeta三维光学轮廓仪
Zeta-20
    卓越的三维成像和测量基于ZDot?专利技术,Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。

    多功能光学测试模组Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求ZDotTM  Z点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量***“困难”的表面。ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。

    ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。ZX5 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。   

           测量通道和精度

ZDOTZX5ZiCZSiZFT
粗糙度 > 40nm



粗糙度 < 40nm



大视场、Z方向高分辨率



15nm - 25mm台阶高度



5nm - 100?m台阶高度



< 10nm台阶高度



缺陷:尺寸 < 1?m,高度 < 75nm


缺陷:尺寸 > 1?m,高度 < 75nm



30nm < 薄膜厚度 < 15?m



薄膜厚度 > 15?m




Zeta-20标配系统硬件和软件可选项
测试系统超大深度成像标准物镜:2.5×10×20×50×100×150×
标配Z点阵(ZDot)特殊物镜:长工作距离,浸没物镜,TTM物镜
双高亮度LED光源白光干涉模组(ZX5)X5物镜,压电陶瓷载台
真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素Nomarski模组(ZIC):棱镜,起偏器,检偏器
30帧/秒,数据采集反射光谱膜厚测试模组(ZFT)
单耦合镜,四种规格可选白光差分干涉技术(ZSI)0.5?分辨率,0.1nm台阶高度测试能力
5物镜手动转台高分辨率相机(1/2",1920×1440像素)
自动聚焦背光LED
25mm垂直扫描/(20×,长工作距离)自动物镜识别/6物镜自动转台
40mm垂直工作距离(可扩展至100mm)耦合镜:1×0.63×0.5×0.35×
载台和卡盘手动XY载台(100mm×100mm)手动150mm×150mm载台
高精度Z轴传动自动100mm×100mm载台
可配置载物台(开放设计)压电陶瓷载台(0.2nm步距,100?m传动距离)

倾斜载台(±20 deg)

高精度倾斜载台(±6 deg)

手动旋转载台

卡盘适用尺寸:2"-8"圆形,5"6"方形

硬盘卡盘:65mm-95mm

适于背光卡盘

可定制特殊卡盘
软件非接触测量台阶高度,表面粗糙度,特征尺寸,如直径,面积,体积等ZMORF先进的数据分析软件
允许同一视场中存在超低反射率(0.5%)和超高反射率(85%)区域4"晶圆曲翘度测量
透明/半透明材质测量膜厚测试光谱仪,可见光(适用于膜厚30nm-10?m)
透明或半透明多层结构分析自动图像拼接
高粗糙度和高深宽比结构分析自动多点量测
自由调节水平测量先进软件分析包
Ra,RqRzRskRk以及其它ISO4287参数离线分析软件
Sa,SqSzSskSk以及其它ISO25178参数多种应用Recipe
基于颜色和高度的区域筛选分析     PSS量测
三维成像软件,可进行滤波,真假色切换,缩放,旋转等金刚线
定制的报告格式金刚石研磨垫
简易文件管理和多格式数据输出太阳能单晶/多晶绒面
时间:30秒内/太阳能细栅线

太阳能主栅线

太阳能电池片曲翘度
    配置要求处理器:  Intel Dual Core操作系统:  Windows 7, 64内存:  4GB RAM (16GB 推荐),  320 GB HDD显示器:  24-inch LCD, 1920 x 1200     像素振动要求:内置防震适用于大多数应用可选被动和主动防震台可选隔音罩       技术支持质保: 一年(含人工)软件: 两年内免费升级使用手册: 随货附送维修手册: 可选维修培训校准: 权威机构认证台阶高度和膜厚标样片        厂务要求电源:  100  – 230 VAC, 2 A工作温度:  15° – 30° C, 非冷凝真空 (可选):  600 mm Hg设备尺寸(W x D x H): 36 x 48 x 61 cm工作站尺寸: 52 x 66 x 51 cm重量:  29.5 kg 


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