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北京维意真空 三温区PECVD 等离子体增强化学气相沉积 高温 镀膜设备

1:加热温区移动速度触摸屏可以调节。2:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。3:自动切换气体功能,(不同温度通入不同气体,或者根据要求进行定做)。4:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。5:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动真空泵。

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  • 主营产品| PECVD ALD
  • 公司地址|北京 大兴区 旧忠桥东亚五环国际

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品牌:维意真空

北京维意真空 三温区PECVD 等离子体增强化学气相沉积 高温 镀膜设备

三温区PE-CVD技术参数

名称

规格

产品名称

PECVE智能一体机

显示模式

7"真彩触摸屏液晶显示(LCD)

温度曲线

30段"时间—温度曲线"任意可设

预存曲线

可预存15条温度曲线

操作界面

图形界面提示,触摸屏输入

温度曲线

实时监控,动态显示“时间-温度曲线”

超温报警

断偶提示

测温元件

S型热电偶

升温速率:

0-30 ℃/min

工作电源:

AC380V /50HZ

整机功率:

12KW

温度

1400℃

长期工作温度

1350℃

控温方式:

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制, 

质量流量计:四路

型号采用D07-7及对应显示仪表

气体种类:

氢气:200sccm甲烷:100 sccm氮气:750 sccm氩气:300 sccm

射频电源

功率500w,频率:13.56MHz

真空计

测量范围0.01-100000Pa

真空泵

TRP-36

真空度

5Pa

手持式测温仪

S型热电偶 长度500mm

刚玉管

100*2000

石英管

100*2000

石英管

80*2000

软件功能

1:加热温区移动速度触摸屏可以调节。

2:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。

3:自动切换气体功能,(不同温度通入不同气体,或者根据要求进行定做)。

4:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。

5:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动真空泵。

6:其他功能根据要求定做.

包装模式

三合板木质包装箱

随机配件

石英舟3只;刚玉坩埚3只;炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。










供应商信息
北京浅蓝纳米科技发展有限公司是一家专门做北京高校及研究所实验装备定制加工的私营企业,公司的办公地址在大兴区旧宫,工厂地址在通顺路通顺物流园内。 我公司目前以PECVD、ALD等实验室镀膜设备为主导,客户群体目前主要涵盖了北京工业大学、北京交通大学、北京大学、北京科技大学、中国科学院理化技术研究所、中国科学院半导体研究所、中国科学院电工所、国家纳米中心等高校和研究所。 公司的主打产品定位以及相关经验累积需要新的人员补充到销售队伍当中来,开拓更加宽广的市场。 查看更多 >
主营产品或服务 PECVDALD
主营行业 其他行业专用设备
注册资本 无需验资
公司所在地 北京 大兴区 旧忠桥东亚五环国际
联系方式
于磊
15611171559
北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司
地 址|北京 大兴区 旧忠桥东亚五环国际
北京 北京 大兴区 旧忠桥东亚五环国际 北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司

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